光刻胶板块异动走高，安达智能涨超10%，芯碁微装、鼎龙股份、松井股份、华融化学、恒坤新材等跟涨。相关ETF方面，科创半导体ETF（588170）涨3.93%，成交额2.92亿元，半导体设备ETF（159516）涨4.25%，成交额2.94亿元。