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阿斯麦:预计到2030年极紫外光刻机的每小时晶圆产量可增加50%
2026年2月23日 22:20
作者:
zhangsan
分类:
未分类2
阿斯麦表示,通过提升功率,可将光刻机极紫外光源的功率提升至1000瓦特,预计到2030年极紫外光刻机的每小时晶圆产量可增加50%。(财联社)